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環(huán)控產(chǎn)品

專注于環(huán)境監(jiān)測服務,致力于環(huán)保事業(yè)發(fā)展

APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)勢

■可配置液體或氣體樣品;

■可實現(xiàn)標樣加濕功能;

■兩級高精度MFC控制;

■稀釋比高;

■全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt;

■可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品。

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原理概述

    APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng),是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品,可配制五種標氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學研究??筛鶕?jù)用戶要求定制。

    特點:

    苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

    帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

    高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

    可選配液體標樣稀釋模塊

    應用:

    傳感器生產(chǎn)商

    半導體生產(chǎn)商

    科研院所

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