APK6100E半導體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng),是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品,可配制五種標氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產(chǎn)商,半導體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學研究??筛鶕?jù)用戶要求定制。
特點:
苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;
帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度
高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準
可選配液體標樣稀釋模塊
應用:
傳感器生產(chǎn)商
半導體生產(chǎn)商
科研院所
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